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日立超高分解能走査電子顕微鏡 Hitachi Ultra High Resolution Scanning Electron microscope/SU8220 SU8220 低加速観察での観察と分析を融合した進化したCold FE-SEM The novel Cold FE-SEM providing image observation and elemental microanalysis at low acceleration voltage conditions 「IEEEマイルストーン」に認定された FE電子顕微鏡の技術を更に高めた 高輝度安定Cold -FE電子銃による 高分解能観察 High resolution imaging by newly high brightness and stability Cold FE-Gun which further raised the technology of field emission electron microscope authorized by "IEEE Milestone" 10V~2,000Vまで設定可能な減速光学系を用いた 低ダメージ・極表面観察 Low damage and top surface observation with beam deceleration system which can be set up to 10V - 2,000V landing voltage 大口径EDX検出器を用いた高空間分解能組成分析 High spatial resolution X-ray microanalysis using large area size EDX detector ■多彩な信号検出系■ (標準光学系) Top検出器 Upper 検出器 Top(HA-BSE) Upper(LA-BSE) BaCO 3 TiO2 組成コントラスト Lower(SE) 組成コントラスト+凹凸情報 (チャージアップ抑制) Upper(SE) Lower 検出器 試 料 : BaCO3/TiO2 混合粒子 加速電圧 : 1kV 観察倍率 : x 70k 凹凸情報 最表面情報